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壓電直線納米位移臺MF30-20A

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壓電直線納米位移臺MF30-20A

  • 所屬分類:壓電直線納米位移臺

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  • 發布日期:2021/01/21
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尺寸參數
外形尺寸(長*寬*高)33.2*30*10.5mm
臺面平面度10 μm
總重量33g
材料
機身鋁合金/
驅動PZT壓電陶瓷/
驅動機構鈹青銅/
導線屏蔽線,銅線/
粗調模式
運動范圍±10mm
運動步進50~2000nm
速度上限3mm/s
細調模式
細調步進0.05nm
細調范圍3000nm
閉環運動
重復定位精度20nm
絕對定位精度200nm
分辨率20nm
負載
垂直運動方向負載20N
沿運動方向負載4N
操作環境
操作溫度-20~80
是否適用真空/
其它
控制類型開環/閉環/
運動分辨率0.05nm
驅動電壓上限125V


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