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壓電直線納米位移臺ML-92A

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壓電直線納米位移臺ML-92A

  • 所屬分類:壓電直線納米位移臺

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  • 發布日期:2021/01/21
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壓電直線納米位移臺ML-92A 大行程直線位移臺,不僅擁有緊湊的安裝尺寸,同時還兼具低溫真空等應用環境。

是小空間內大行程高精度的定位的優先選擇產品。

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ml-92a1.png

壓電直線納米位移臺ML-92A尺寸參數
外形尺寸(長*寬*高)123*28*15.5mm
臺面平面度10 μm
總重量190g
運動參數
行程±46mm
運動速度上限3mm/s
材料
機身鋁合金/
驅動PZT壓電陶瓷/
驅動機構鈹青銅/
導線屏蔽線,銅線/
運動控制
閉環重復定位精度(20℃)20nm
閉環位置傳感器分辨率2nm
開環運動分辨率0.05nm
負載
垂直運動方向負載20N
沿運動方向負載4N
操作環境
操作溫度0~60
操作濕度溫度達到40℃時,相對濕度95%。(非冷凝)/
是否適用真空
其它
控制類型開環/閉環/
驅動電壓上限125V


本文網址:http://www.chumpysclipart.com/product/825.html

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