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壓電直線納米位移臺 Z軸掃描臺

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壓電直線納米位移臺 Z軸掃描臺

  • 所屬分類:壓電直線納米位移臺

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  • 發布日期:2021/01/21
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壓電直線納米位移臺 Z軸掃描臺,得益于特殊的結構設計,卓聚科技的Z軸掃描臺,提供約等于5nm的粗調步進。產品支持真空,低溫等應用。

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Z軸掃描臺尺寸參數
中間位置外形尺寸(長*寬*高)45.6*44.0*24.6mm
樣品臺面平面度<5 μm
總重量78g
運動參數
Z軸行程±1.0mm
粗調步進5~200nm
細調行程300nm
細調步進(理論值)0.005nm
閉環運動
重復定位精度4nm
分辨率2nm
負載
豎直方向負載10N
操作環境
閉環(開環)操作溫度-20~80(-269~80)
是否適用真空/


本文網址:http://www.chumpysclipart.com/product/824.html

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