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壓電旋轉納米位移臺RF-5950A

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壓電旋轉納米位移臺RF-5950A

  • 所屬分類:壓電旋轉納米位移臺

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  • 發布日期:2021/01/21
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壓電旋轉納米位移臺RF-5950A 可在-269℃的低溫下進行開環使用。設備具備合適的安裝尺寸。得益于更跟均衡的尺寸設計,設備具有更大的負載能力。

設備支持真空環境。并且支持定制化的開孔位置,滿足不同的安裝場景。壓電陶瓷的驅動模塊使用,使設備具有360°全行程的高精度定位及高分辨率。

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rf5950-1.png

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壓電旋轉納米位移臺RF-5950A尺寸參數
外形尺寸59.0*59.0*21.5mm
臺面平面度10 μm
總重量190g
材料
機身鋁合金/
驅動PZT壓電陶瓷/
驅動機構鈹青銅/
導線屏蔽線,銅線/
粗調模式
行程360°無限制°
回轉直徑50mm
運動步進0.1~7.21
速度上限0.132rad/s
細調模式
細調步進0.16μ°
細調范圍10.8
閉環運動
重復定位精度0.66
分辨率0.33
負載
垂直運動方向負載10N
負載扭矩160N/mm
操作環境
閉環(開環)操作溫度-20~80(-269~80)
是否適用真空/
其它
控制類型開環/閉環/
運動分辨率0.16μ°
驅動電壓上限125V


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