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壓電二維納米位移臺

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壓電二維納米位移臺

  • 所屬分類:壓電多軸納米位移臺

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  • 發布日期:2021/01/21
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壓電二維納米位移臺,XYMF-133-100A平移臺實現了在XY二維空間上的準確定位,具有分辨率高,行程大(XY軸行程±50mm),帶有高精度及高分辨率的位置反饋。操作簡單,定位準確,能在真空下使用等優點,可應用于需要納米精度運動操作及定位的各個領域。

壓電二維納米位移臺使用壓電陶瓷驅動,運動無需潤滑,百分百真空兼容,并可在很廣的溫度范圍內工作。運動分辨率達到亞納米級。步進和掃描雙模式工作,并且在宏觀行程范圍內同樣達到亞納米分辨率的定位。支持開環閉環控制。

壓電二維納米位移臺.jpg

壓電二維納米位移臺.png

壓電二維納米位移臺1.png

尺寸參數
外形尺寸(長*寬*高)133.0*133.0*26.1mm
臺面平面度10 μm
總重量653.8g
運動參數
X軸±50mm
Y軸±50mm
運動速度上限3mm/s
材料
機身鋁合金/
驅動PZT壓電陶瓷/
驅動機構鈹青銅/
導線屏蔽線,銅線/
運動控制
閉環重復定位精度(20℃)2nm
閉環位置傳感器分辨率2nm
開環運動分辨率0.05nm
負載
垂直運動方向負載20N
沿運動方向負載4N
操作環境
操作溫度0~60
操作濕度溫度達到40℃時,相對濕度95%。(非冷凝)/
是否適用真空
其它
控制類型開環/閉環/
驅動電壓上限125V


本文網址:http://www.chumpysclipart.com/product/820.html

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