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電動平移臺平面度的含義

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電動平移臺平面度的含義

發布日期:2019-05-05 作者: 點擊:

電動平移臺平面度(Surface Flatness):

光學平臺的平面度,通常是指單位面積內,被測實際表面相對其理想平面的變動量。通常國外光學平臺的平面度指標為:±0.1mm/600mm×600mm,通過精密磨削工藝,將平面度指標提高到0.02 ~0.05mm/600mm×600mm。

但嚴格意義上來說,光學平臺平面度,對于隔振性能,沒有任何影響,甚至若為了追求高平面度,往往會犧牲掉光學平臺的隔振性能,原因如下:

● 我們知道,光學平臺臺面,若為達到高平面度,通常需要反復磨削,在加工過程中,多次磨削容易使材料產生形變,為了減少形變,通常要加厚臺面,但我們通過振動恢復時間的說明已經知道,臺面加厚質量增加,平臺的振動恢復時間往往成倍(甚至幾倍)增加,在很多精密光學實驗中,這是不可接受的;

● 光學平臺的磨削是有極限的,這個加工的極限一般是在±0.01mm/600mm×600mm左右,換算成平方米大約為:±0.03mm/m2,但這個平面度,同大理石平臺的平面度相差甚遠。大理石平臺根據平面度指標一般分為:000級(平面度≤3μm/m2)、00級(平面度≤5μm/m2)、0級(平面度≤10μm/m2)。換句話說,平面度Z好的光學平臺,同Z低等級的大理石平臺相比,平面度還差數倍甚至一個數量級,所以若您需要高平面度的臺面,強烈建議您選購大理石平臺;

● 光學平臺的平面度在使用時,實際意義不大。我們以絕對平整的臺面(實際上是不可能的)來看,若長×寬×厚為:2000×1000×200mm,通常調整水平時,水平儀的Z小刻度為±30′,若假設實際過程中,水平方向調整精度若為5′,長度方向取2000mm,那么,臺面長度方向兩端的高度差=2000×tan(5′)2.9mm,也就是說,就算絕對平整的臺面,調整水平后,臺面長度方向兩端的高度差很有可能達到3mm,所以實際使用情況中,平面度的指標意義不大;

● 對于平臺上的光學元件來說,平面度引起的高度差,通??梢院雎圆挥?,若確有必要考慮高度差,則完全可以通過卓立精密調整的位移臺來實現。綜上所述,光學平臺的平面度,同光學平臺的隔振性能不相關,只能做為光學平臺的一個輔助指標,供參考。

升降旋轉臺


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關鍵詞:旋轉臺結構,旋轉臺設計,升降旋轉臺

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